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擴散硅壓力變送器輸出靈敏度高

更新更新時間:2022-12-20      點擊次數(shù):879
  擴散硅壓力變送器采用陶瓷傳感器,再配以高精密電子元件,經(jīng)嚴格要求的工藝過程裝配而成。壓力變送器與應用的通例壓力變送器相比,有兩個技術差別:一是測量元件采用新型的高精密陶瓷材料;二是測量元件內(nèi)無中介液體,是固體的。儀表在工業(yè)測量和自動調(diào)節(jié)系統(tǒng)中作為檢測環(huán)節(jié)用來測量液體,氣體或蒸汽的壓力,并將被測參量轉(zhuǎn)換成標準電流信號輸出,與其他儀表配合實現(xiàn)現(xiàn)代生產(chǎn)過程中的自動檢測和控制。
  擴散硅壓力變送器產(chǎn)品特點介紹:
  1、適合制作小量程的變送器
  硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應在零點附近的低量程段無死區(qū),制作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。
  2、輸出靈敏度高
  硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50~100倍,故相應的傳感器的靈敏度就很高。因此對接口電路無特殊要求,使用比較方便。
  3、精度高
  由于傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三部分由同一個元件實現(xiàn),沒有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),重復性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大,變形很小,保證了良好的線性。
  4、由于工作單性形變低至微應變數(shù)量級,彈性芯片最大位移在亞微米數(shù)量級,因而無磨損,無疲勞,無老化,壓力循環(huán),性能穩(wěn)定,可靠性高。
  5、由于硅的優(yōu)良化學防腐性能,即使是非隔離型的擴散硅壓力傳感器,也有相當程度的適應各種介質(zhì)的能力。
  6、由于芯片采用集成工藝,又無傳動部件,因此體積小,重量輕。
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